ASML公布最新一代EUV光刻机3600D:生产效率增加18%

2020年10月14日 19:24 次阅读 稿源:快科技 条评论

10月14日,荷兰ASML(阿斯麦)公布了光刻机产品的最新进展。其中TWINSCAN NXE:3600D作为其目前研发中的最先进光刻机系统,终于敲定最终规格。具体来说,30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆,提高了18%的生产率,并改进机器匹配套准精度至1.1nm

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3600D定于2021年中旬出货交付,客户还需要一定时间等待,价格应该不会低于现款老型号的1.2亿美元。

目前,ASML已经投产的最先进光刻机是3400C,但主力出货型号是3400B。参数方面,3400B的套刻精度为2nm、曝光速度20mJ/cm2,每小时可曝光125片晶圆。

另外,ASML透露,3400B在三季度也完成了软件升级。全新的DUV光刻机TWINSCAN NXT:2050i已经在三季度结束验证,四季度早期开始正式出货。

据悉,在截止9月30日的单季度,ASML共获得60台光刻机收入,出货了10台EUV光刻机。

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