ASML:广泛理解从荷兰向中国客户提供光刻机 无需出口许可证

2020年10月15日 08:05 次阅读 稿源:快科技 条评论

对于我国的芯片行业而言,更为先进的光刻机的确是个很大逾越的障碍,而全球的设备也都来自ASML。ASML CFO Roger Dassen在财报会议的视频采访中谈到了与中芯国际等中国客户的业务情况,其表示一些情况下,出口光刻机是不需要许可证的。

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Roger Dassen指出,ASML了解美国当局目前的规章制度及其解释,当然也知道这些与特定的中国客户密切相关,但如果广泛的来理解其规章制度对ASML的总体含义(对于特定的中国客户),则意味着ASML将能够从荷兰向这些中国客户提供DUV光刻系统,且无需出口许可证。

不过,如果涉及直接从美国运往此类客户的零件或系统,ASML则需要为此申请出口许可证。

在这之前ASML还公布了光刻机产品的最新进展,3600D是其目前研发中的最先进光刻机系统,于2021年中旬出货交付,其30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆,提高了18%的生产率,并改进机器匹配套准精度至1.1nm。

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