消息称台积电现已采购35台EUV光刻机 占ASML过半产量

2020年12月02日 14:13 次阅读 稿源:快科技 条评论

对于主攻代工芯片的台积电来说,拥有越多先进的光刻机,优势就越大,当然订单也就越多。根据台湾地区媒体的消息,台积电目前已采购35台EUV 设备,占ASML过半产量,2021年底采购总量将超过50台。

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之前就消息称,台积电已经下单订购了至少13台ASML的Twinscan NXE EUV光刻机,将会在2021年全年交付,明年台积电实际需求的数量可能是高达16到17台EUV光刻机。

相较之下,三星EUV设备采购量目前不到20台。

根据ASML的官方数据,2018年至2019年,每月产能约4.5万片晶圆(WSPM),一个EUV层需要一台Twinscan NXE光刻机。随着工具生产效率的提高,WSPM的数量也在增长。如果要为一个准备使用N3或更先进节点制造工艺的GigaFab(产能高于每月10万片)配备设备,台积电在该晶圆厂至少需要40台EUV光刻设备。

未来几年全球对EUV光刻机的需求只会增加,但从目前的情况来看,在未来一段时间内,台积电仍将是这些光刻设备的主要采购者,三星和Intel将紧随其后。

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