单价19亿元 Intel四年前就已抢购下一代EUV光刻机

2022年01月20日 09:27 次阅读 稿源:快科技 条评论

昨天全球最大的光刻机供应商ASML发布了2021年Q4及全年财报,去年营收186.11亿欧元,较上一财年增长33%,净利润也从35.54亿欧元涨至58.83亿欧元,全年出货42套EUV光刻机,比上一年增加11套。

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Q4季度中,ASML公司还新增了71亿欧元的新订单,其中就有一套NA 0.55高数值孔径EUV光刻机的销售,这是ASML下一代光刻机,订购这个光刻机的是Intel,据说成本高达3亿美元,约合19亿元。

要知道,在当前的EUV光刻机销售中,台积电及三星都是大客户,订单量远高于Intel,但在下一代EUV光刻机中Intel拿到了独占权,有一定的抢先期,早在2018年就下第一台。

在当前NA 0.33的EUV光刻机中,Intel动作慢了,被台积电、三星抢先,Intel的EUV工艺芯片量产要到2023年的14代酷睿Metor Lake上。

在下一代NA 0.55的EUV光刻工艺中,Intel不允许同样的错误再次发生,这一次要抢先三星台积电下单,也会抢先量产20A及18A工艺,首次进入埃米级工艺节点。

基于此,4年来Intel实际上已经下单了6台NA 0.55的EUV光刻机,其中分为两种,Twinscan Exe:5000系列主要用于工艺研发,产能输出是185WPH,每小时生产185片晶圆,2023年上半年交付。

量产型的NA 0.55光刻机是Twinscan Exe:5200,产能提升到200WPH,每小时200片晶圆,预计会在2024年下线,Intel的20A工艺正好是在2024年量产。

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