英特尔爱尔兰Fab 34芯片制造工厂迎来首台EUV光刻机

上周,芯片巨头英特尔在位于爱尔兰 Leixlip 的 Fab 34 工厂,完成了首台极紫外(EUV)光刻机的安装。两个月前,该公司才开始在该晶圆厂安装首台芯片制造设备。而由荷兰阿斯麦(ASML)制造的这台 EUV 光刻机,先是被运到了美国俄勒冈州的 Hillsboro,接着又被转运到了欧洲。

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视频截图(来自:Intel Ireland)

目前尚不清楚英特尔为何要让这台机器绕地球这么一大圈,一种猜测是英特尔在俄勒冈州进行了早期检测、以确保光刻机符合该公司的严格要求。

此外预计这台机器是安装在爱尔兰 Fab 34 工厂中的第一台 EUV 光刻机,并作为英特尔 7nm(Intel 4)工艺技术的关键推动者。

Leading edge technology lands in Leixlip(via

据说这套设备总共动用了 4 架未知型号的波音飞机来空运,然后由 35 辆卡车陆运至 Fab 34 。

最后,英特尔官方透露,自去年 12 月以来,这些“工具”已分批发送,但直到最近才完成组装。

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