台积电将为2nm制程工艺量产投资340亿美元 预计本月获得建厂土地

2022年06月10日 11:10 次阅读 稿源:TechWeb 条评论

6月10日消息,据国外媒体报道,5nm工艺量产已两年的台积电,正在推进3nm工艺的量产事宜,这一制程工艺在去年下半年已风险试产,按计划将在今年下半年大规模量产。而除了3nm制程工艺,台积电也在谋划更先进的2nm工艺的量产事宜,这一工艺计划在2025年量产。

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外媒的报道显示,台积电在近期已宣布,他们将投资340亿美元,推动2nm制程工艺的量产,他们已经获得了建厂土地的租赁许可。

另外,有外媒在报道中表示,台积电的高层,正在同相关方,就建设2nm制程工艺工厂所需的土地进行谈判,超过90%的业主已经同意,预计最迟在6月份能获得建厂所需的全部土地。

除了土地,台积电2nm制程工艺工厂在厂房的建设方面也需要大量的资金,但花费最多的,预计会是更高端的极紫外光刻机和其他的先进设备。

台积电从第二代的7nm工艺开始采用极紫外光刻机,随后量产的5nm等先进制程工艺,都需要极紫外光刻机,他们也从阿斯麦采购了大量的极紫外光刻机,而更先进的2nm工艺所需要的将是高数值孔径极紫外光刻机。

阿斯麦已经推出的TWINSCAN NXE:3400B、TWINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D极紫外光刻机中,最先进的TWINSCAN NXE:3600D最高也只能支持5nm和3nm工艺的量产。

而从阿斯麦一季度的财报来看,他们在今年一季度交付3台极紫外光刻机,营收5.94亿欧元,平均一台的售价接近2亿欧元。未来推出的支持2nm制程工艺的更先进的极紫外光刻机,售价将会更高。

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