台积电回应上万片晶圆被污染:光阻原料所致,不影响业绩

2019年01月30日 14:20 次阅读 稿源:Expreview超能网 条评论

去年台积电的晶圆厂爆出了电脑病毒事件,导致旗下多个晶圆厂停工,最终损失26亿新台币,虽然损失比之前预期的少很多,对全年基本没影响,但是生产安全事故对台积电的形象很不利。前两天台积电又爆出了晶圆污染事件,损失尚无明确统计,此前说是上万片晶圆被废,最夸张的报道则说有9万片晶圆被污染,损失高达200亿新台币。

对于这个问题,台积电方面昨天发表公告,称出问题的主要是一批光阻原料,台积电已经跟客户做了沟通,这件事暂时不会影响Q1季度业绩,Q1产能追不回来也会在Q2季度追回来。

半导体芯片的生产制造是个复杂的过程,除了需要光刻机、蚀刻机等设备之外,还需要大量的半导体材料,其中最高的就是大硅片,也就是生产晶圆芯片的基础,它能占到半导体材料市场价值的1/3,还有就是工厂所用的高纯度气体、光罩及光阻材料,所以光阻材料在整个半导体材料中占比还是很靠前的,2016年统计数据显示光阻材料占半导体材料市场的5%份额。

台积电这次的晶圆污染就出在光阻材料上,台积电他们本月19日就发现南科的Fab 14B晶圆厂的12nm、16nm工艺良率出了问题,排查后发现问题出在光阻材料上,这批原料是他们合作多年、经验丰富的厂商,之前一直没有问题,但这批材料的规格与过去有相当大的差距。

台积电没有公布这家原料供应商的名字,不过他们的光阻原料主要来自日本信越、日本JSR与美国陶氏化学,目前还不确定是这三家中的哪一家或者是还有别家供应商。

至于这次晶圆污染导致的影响,台积电方面表示出事之后已经立即停用这批原料,并通知受到影响的客户,过去10天中已经跟客户密切沟通,具体到了补货及交付日期等细节问题。台积电根据目前的12/16nm产能利用率表示Q1季度就能追回大部分损失产能,即便Q1无法补回,Q2季度也会追回来,重申此单一事件还不会影响Q1季度的财报预测。

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